紫外线菌器而满足含量小于 100CFU/ml的要求去离子水,又称纯水,或深度脱盐水。
去离子水,由于在反渗透预处理中绝大多数都先用活性炭去除了部分非电解质,并且电导率非常容易测量,所以纯水纯度往往也用电导率衡量。但如果要获得较高纯度的高纯水,还是需通过去除电解质的混床、EDI方法。
多介质过滤器主要作用是去除源水中的悬浮物质及机械杂质。设备内装有布水帽、精制石英砂等,亦可装其它填料。
去离子水,是指化学纯度较高的水,其主要应用在生物、化学化工、冶金、宇航、电力等领域,但其对水质纯度要求相当高,所以一般应用普遍的还是电子工业。例如电力系统所用的纯水,要求各杂质含量低达到“微克/升”级。在纯水的制作中,水质标准所规定的各项指标应该根据电子(微电子)元器件(或材料)的生产工艺而定(如普遍认为造成电路性能破坏的颗粒物质的尺寸为其线宽的1/5-1/10),但由于微电子技术的复杂性和影响产品质量的因素繁多,至今尚无一份由工艺试验得到的适用于某种电路生产的完整的水质标准。不过近年来电子级水标准也在不断地修订,而且高纯水分析领域的许多突破和发展,新的仪器和新分析方法的不断应用都为制水工艺的发展创造了条件。