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去离子水，由于在反渗透预处理中绝大多数都先用活性炭去除了部分非电解质，并且电导率非常容易测量，所以纯水纯度往往也用电导率衡量。

在纯水的制作中，水质标准所规定的各项指标应该根据电子(微电子)元器件(或材料)的生产工艺而定(如普遍认为造成电路性能破坏的颗粒物质的尺寸为其线宽的1/5-1/10)，但由于微电子技术的复杂性和影响产品质量的因素繁多，至今尚无一份由工艺试验得到的适用于某种电路生产的完整的水质标准。

在选购去离子水,工业蒸馏水,高纯水,**纯水时,或设备时,应该注意提供的水质指标,如电导率或电阻率,钠,二氧化硅,以及微生物指标.这些都可向厂家咨询.如医药,生物,化工方面一般都选择工业蒸馏水,这种工艺制得的纯水,微生物含量比较有**.如果离子交换工艺做的去离子水,后端采用了杀菌措施,则去离子水的纯度会更高一些,而且成本更低.

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